Presentación de los componentes principales: una guía para bombas de vacío en sistemas de recubrimiento PVD

Los sistemas de vacío son el corazón de las máquinas de recubrimiento por deposición física de vapor (PVD), que permiten la deposición precisa de películas delgadas sobre sustratos como ferretería, herramientas y artículos decorativos. El rendimiento de estos sistemas depende de dos etapas críticas: bajo vacío (desbaste) y alto vacío (proceso). Aquí, desglosamos la configuración de las bombas de vacío PVD y destacamos las marcas líderes en la industria.

1. Bombas de bajo vacío: fundamento del proceso

Las bombas de bajo vacío crean la reducción de presión inicial desde los niveles atmosféricos (normalmente hasta ~10⁻² Pa). Son esenciales para preparar la cámara para el funcionamiento con alto vacío. Los tipos comunes incluyen:

Bombas de paletas rotativas selladas con aceite : ideales para aplicaciones de uso general, como secado, desgasificación y evacuación inicial.
- Ejemplo : Serie PVD de ULVAC.
  - Diseño compacto accionado por correa con funcionamiento silencioso.
  - Modelos como el PVD-360 alcanzan velocidades de escape de 19 m³/h (50 Hz) y presiones máximas ≤0,67 Pa.
Bombas secas (sin aceite) : previenen la contaminación por hidrocarburos, fundamental para procesos limpios como recubrimientos ópticos o semiconductores.
- Ejemplo : DRYVAC de Oerlikon Leybold, que utiliza tecnología de tornillo para un mantenimiento mínimo.

Aplicaciones en revestimiento de herrajes/muebles : las bombas de bajo vacío garantizan tiempos de ciclo rápidos para las máquinas de recubrimiento para la industria de muebles y herrajes , donde la eficiencia y la limpieza son primordiales.

2. Bombas de alto vacío: lograr la precisión del proceso

Las bombas de alto vacío mantienen presiones ultrabajas (≤10⁻⁵ Pa) para que las partículas vaporizadas viajen sin obstáculos. Las tecnologías clave incluyen:

Bombas turbomoleculares : bombas de alta velocidad sin aceite para procesos sensibles a la contaminación.
- Ejemplo : TURBOVAC MAGiNTEGRA de Oerlikon Leybold con cojinetes de levitación magnética, que permiten ángulos de instalación arbitrarios y una vibración mínima.
Bombas criogénicas : capturan gases mediante condensación y logran presiones de hasta 10⁻⁸ Torr (por ejemplo, PRO Line PVD 200 de Kurt J. Lesker).
Bombas de difusión : rentables para sistemas a gran escala, pero requieren bombas de respaldo.

Integración en sistemas PVD : las bombas de alto vacío son fundamentales para la máquina de recubrimiento por pulverización iónica multiarco PVD , donde se requiere una adhesión uniforme y películas de alta densidad.

3. Marcas y sistemas PVD recomendados

Máquina de recubrimiento iónico Multiarc de gran diámetro ZJ :
- Configurado con bombas de paletas rotativas (p. ej., 2X-30/2X-70) y bombas de difusión (K-500T).
- Admite herramientas a gran escala o componentes automotrices.
Equipos de recubrimiento modulares (p. ej., línea PRO de Kurt J. Lesker):
- Combina bombas scroll secas (por ejemplo, Edwards) y bombas criogénicas para investigación y desarrollo o producción de bajo volumen.
Serie UNIVEX de Oerlikon Leybold :
- Personalizable para I+D, con pulverización catódica por magnetrón y fuentes de evaporación térmica.

4. ¿Por qué elegir nuestro equipo de recubrimiento?

Nuestras soluciones de máquina de recubrimiento por pulverización iónica PVD Multiarc y máquina de recubrimiento para la industria de muebles y hardware integran:

Apilamiento confiable de bombas : combinación de bombas robustas de bajo vacío (p. ej., serie ULVAC VD) con bombas turbomoleculares de alto vacío.
Versatilidad : Maneje materiales desde metales (Cr, Ti) hasta no metales (MoO₃).
Automatización : Sistemas controlados por PLC para repetibilidad en revestimientos de herrajes/muebles.

Conclusión

Desde bombas de paletas rotativas de bajo vacío hasta sistemas turbomoleculares de alto vacío, la configuración correcta de la bomba garantiza un rendimiento óptimo para la máquina de recubrimiento iónico multiarco de gran diámetro ZJ y el equipo de recubrimiento centrado en muebles. Asóciese con nosotros para personalizar un sistema PVD que equilibre velocidad, precisión y rentabilidad.

Multiarc Ion Plating Stainless Steel Sheet