Common Issues and Solutions for Vacuum Coating Machine Operation

Problemas y soluciones comunes para la operación de la máquina de recubrimiento de vacío

Vacú insuficiente: verifique si el sello envejece y si la bomba de vacío funciona normalmente.

Recubrimiento desigual: ajuste la posición objetivo, la velocidad de rotación del sustrato o el flujo de gas.

Si el dispositivo está sobrecalentado, verifique si el sistema de enfriamiento funciona correctamente y limpia los componentes de disipación de calor.

Falla de energía: verifique las líneas eléctricas y los controladores, y reemplace los componentes si es necesario.

Pérdida del objetivo demasiado rápido: ajuste la aspiradora de potencia de potencia de pulverización.

Problema: los niveles de vacío deficientes pueden afectar la calidad del recubrimiento.

Solución: Verifique los sellos envejecidos y asegúrese de que la bomba de vacío funcione correctamente. El mantenimiento regular de su máquina de recubrimiento de PVD es esencial para evitar la degradación del rendimiento.

Recubrimiento desigual

Problema: espesor o rayas de película inconsistente.

Solución: ajuste la posición objetivo, la velocidad de rotación del sustrato o el flujo de gas. Para los modelos de máquinas de recubrimiento con pulverización de iones multiciarios, la optimización de estos parámetros garantiza una deposición uniforme.

Sobrecalentamiento del dispositivo

Problema: el calor excesivo puede dañar los componentes.

Solución: Inspeccione el sistema de enfriamiento y limpie los componentes de disipación de calor. La gestión térmica adecuada es crucial para la longevidad del equipo de recubrimiento de hardware.

Falla de energía

Problema: cierres repentinos o problemas eléctricos.

Solución: verifique las líneas eléctricas y controladores; Reemplace las piezas defectuosas si es necesario. Las unidades de la máquina de recubrimiento con pulverización de baldosas PVD de alta calidad a menudo incluyen protección contra sobretensiones para la estabilidad.

Pérdida objetivo demasiado rápido

Problema: El desgaste del objetivo excesivo aumenta los costos operativos.

Solución: reduzca la potencia de pulverización o reemplace el objetivo. Para los sistemas de la máquina de recubrimiento con pulverización de iones de magnetrón, el uso de objetivos de alta pureza mejora la eficiencia. Re reemplazar el objetivo.